300MM硅片清洗机
详细说明
300MM硅片清洗机
1）硅片的装入、取出程序使用多轴机器人手臂，采用单片式处理方法。
2）晶片处理时，在清洗装置旋转晶片，采用超声波提高清洗效率。
清洗机实物图片：
硅片座：
装入程序
硅晶取下装置：
搬运用卡盘机构：
槽
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