300MM硅片清洗机
1)硅片的装入、取出程序使用多轴机器人手臂,采用单片式处理方法。
2)晶片处理时,在清洗装置旋转晶片,采用超声波提高清洗效率。
清洗机实物图片:
硅片座:
装入程序
硅晶取下装置:
搬运用卡盘机构:
槽
价格:价格面议
SLP-2000散乱光光弹性应力计
SLP-1000散乱光光弹性应力计
自动滴液器 FSM-DP01