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450MM硅片清洗机

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详细说明

450MM硅片清洗机


1)硅片的装入、取出程序使用多轴机器人手臂,采用单片式处理方法。

2)晶片处理时,在清洗装置旋转晶片,采用超声波提高清洗效率。


清洗机实物图片:



装入程序:

硅晶取下装置:


硅片座:


卡盘臂:












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